廠房微振監(jiān)測系統(tǒng)介紹
系統(tǒng)目的
半導體技術日新月異發(fā)展下，對于無塵室內(nèi)振動或微振動皆直接影響著產(chǎn)品生產(chǎn)良率。在無塵室設立振動監(jiān)測系統(tǒng)下，可實時監(jiān)控生產(chǎn)中無塵室監(jiān)控區(qū)域振動狀態(tài)。進而提供設備制程人員及廠務人員在實際生產(chǎn)運行中，因振動對于產(chǎn)品良率的表現(xiàn)，找出更適合產(chǎn)品生產(chǎn)的參數(shù)。因振動對于廠房結構的影響，更可避免，因長期間的振動對樓板的結構造成抗振能力下降。
可量測外來的微振量測對廠內(nèi)生產(chǎn)時造成的影響，以實時記錄的方式，可以進行問題的分析及改善。
目前臺積電各廠都將此系統(tǒng)列為標準建廠配備，目的在于此系統(tǒng)可以協(xié)助提升產(chǎn)品良率，并且避免其它振動因素產(chǎn)生，需要找問題來源時無法有記錄可以分析
監(jiān)測系統(tǒng)架構
24hr不間斷訊號量測
提供實時時域或頻域波型顯示
地振報告Folder
實績
臺積電各廠
上海中芯SN1
華大集團半導體
微振檢測系統(tǒng)（附pdf）
