隨著iphone 15推出 由3奈米制程制作的A17芯片也宣告半導(dǎo)體高階制程已進(jìn)入到新的階段，然而超高精度也代表超低的容錯率，
一般環(huán)境中，些微的震動仍會嚴(yán)重影響制成的良率，因此高科技產(chǎn)業(yè)如TFT、半導(dǎo)體廠房，為了方便制程工作的關(guān)系，皆將精密設(shè)備安裝在基座上面，透過被動或是主動方式降低環(huán)境振動，
什么是微振動?
微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區(qū)內(nèi)部樓板的強(qiáng)度、設(shè)備本身的運(yùn)轉(zhuǎn)、或廠房其他設(shè)備的影響、廠房內(nèi)的噪音等，都會成為振動的來源(Source)。而廠區(qū)外的影響則包括外部交通工具、附近 廠房的施工、地震等，也都是微振動的來源。
微振標(biāo)準(zhǔn)曲線Vibration Criterion（VC-Curve）
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微振標(biāo)準(zhǔn)曲線是由Eric Ungar和Colin Gordon于1980年發(fā)展而成。 最初是為了半導(dǎo)體，醫(yī)療和生物制藥行業(yè)的振動敏感設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn)而開發(fā)的，但目前已在多種技術(shù)應(yīng)用中得到應(yīng)用。 該曲線采用一組三分之一的八度音階(1/3 Octave)速度譜的形式，以及國際標(biāo)準(zhǔn)組織（ISO）關(guān)于振動對建筑物中人的影響。 |
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更多的精密設(shè)備如原子力顯微鏡、電子顯微鏡、高倍率顯微鏡、半導(dǎo)體的曝光機(jī)、光學(xué)元件模塊鏡面加工等等再啟用前皆會進(jìn)行微振動規(guī)格的檢核，確認(rèn)是否符合規(guī)定。
我們可以利用微振去做的事情：
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一、微振量測： 1. 素地量測 2. 成廠廠房樓板量測 3. 機(jī)臺進(jìn)場前后基座微振量測 |
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素地量測
在選址完后，立即前往做素地微振量測，用意在于收環(huán)境背景振動源及素地微振等級； 收集到振動背景值后，可根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行廠房建模； 建好模型后，可依之前所量測之振動源進(jìn)行模擬，以利先前分析建筑結(jié)構(gòu)等相關(guān)抗振基本能力及建議；可依業(yè)主需求進(jìn)行24小時量測及定點定時量測；
成廠封頂后廠房樓板量測
土建完成封頂后，需對廠房樓板進(jìn)行量測，以清楚知道廠房本身樓板的微振等級狀況是否符合相關(guān)要求；
量測點位及數(shù)量會依客戶的設(shè)備放置圖進(jìn)行設(shè)計并量測。
此時因無運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備機(jī)臺運(yùn)作，因此可以量測出廠房正確的微振等級及數(shù)據(jù)，再進(jìn)行分析。
機(jī)臺設(shè)備MOVE IN后廠房樓板量測
土建完成封頂后，需對廠房樓板進(jìn)行量測，以清楚知道廠房本身樓板的微振等級狀況是否符合相關(guān)要求；
量測點位及數(shù)量會依客戶的設(shè)備放置圖進(jìn)行設(shè)計并量測。
此時因無運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備機(jī)臺運(yùn)作，因此可以量測出廠房正確的微振等級及數(shù)據(jù)，再進(jìn)行分析。
我們使用的設(shè)備
由于微振量測必須量測極微小振動，對于傳感器分辨率，以及儀器設(shè)備的噪聲比有著很高的要求。
因此我們選擇PCB 393B31，超高感度加速規(guī)，分辨率達(dá)到0.000001g，可以量測到VC curve 中VC-D的等級，超低頻的頻率響應(yīng)，0.1 to 200 Hz(±5%)，也非常適合微振量測的頻寬標(biāo)準(zhǔn)（2~100 Hz），此外ICP形式加速規(guī)的設(shè)計也有攜帶方便，安裝容易的優(yōu)勢。
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*Sensitivity: (±5%) 10.0 V/g (1.02 V/(m/s2)) *Broadband Resolution: 0.000001 g rms (0.000009 m/s2 rms) *Measurement Range: 0.5 g pk (4.9 m/s2 pk) *Frequency Range: (±5%) 0.1 to 200 Hz *Electrical Connector: 2-Pin MIL-C-5015 *Weight: 22.4 oz (635 g) |
儀器部分PW800是目前臺灣市占率最高的微振測量儀，有著市面上最高規(guī)格24bit分辨率以及102 dB dynamic range，即使在高取樣率下仍有極低的噪聲比50 μVrms，并提供微振量測所需的1/3 Octave只需要簡單的設(shè)定即可完成微振、剛性量測、并且可以自動畫出VC-Curve報告，因此可在現(xiàn)場直接了解該點位的振動狀況，也可快速提供測量報告。
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